پاورپوینت کامل با عنوان فناوری MEMS در 84 اسلاید

فناوری MEMS چیست؟ فناوری MEMS یا فناوری سیستم‌های میکروالکترومکانیکی، حاصل تلفیق اجزای مکانیکی، حسگرها، محرکها و قطعات الکترونیکی بر روی یک لایه سیلیکون به کمک فناوری ساخت تراشه‌های میکرونی است . در واقع « MEMS » ، « ریزفناوری‌ ها » یا سیستم‌ های میکرو‌ الکترو مکانیکی در واقع تلفیقی از اجزای مکانیکی ، حس‌ گر‌ ها ، بازو های مکانیکی و اجرای الکترونیکی هستند که بر روی لایه‌‌ ...